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日本理学ZSX Primus 400连续波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF),用于大样品

Rigaku 奇特的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理很是大或重的样品而设计。该系统可接受直径最大为 400 毫米、厚度为 50 毫米和质量为 30 千克的样品,很是适合剖析溅射靶材、磁盘,或用于多层薄膜计量或大型样品的元素剖析。 优点

带有定制样品适配器系统的 XRF,适应特定样品剖析需求的多功效性,可使用可选适配器插件适应种种样品尺寸和形状。凭借可变丈量点(直径 30 毫米至 0.5 毫米,具有 5 步自动选择)和具有多点丈量的映射功效以检查样品均匀性。

具有可用相机和特殊照明的 XRF,可选的实时摄像头允许在软件中检察剖析区域。

仍保存了古板仪器的所有剖析能力。


宁静性

接纳上照射设计,样品室可简单移出,再不必担心污染光路,清理麻烦和增加清理时间等问题。


■ 应用领域

固体、液体、粉末、合金和薄膜的元素剖析:

溅射靶材组成.

隔离膜:SiO2BPSGPSGAsSGSi?N?SiOFSiON等。

k 和铁电介质薄膜:PZTBSTSBTTa2O5HfSiOx

金属薄膜:Al-Cu-SiWTiWCoTiNTaNTa-AlIrPtRuAuNi等。

电极膜:掺杂多晶硅(掺杂剂:BNOPAs)、非晶硅WSixPt等。

其他掺杂薄膜(AsP)、困惰性气体(NeArKr等)、CDLC

铁电薄膜、FRAMMRAMGMRTMR;PCMGSTGeTe

焊料凸点身分SnAgSnAgCuNi

MEMSZnOAlNPZT的厚度和身分

SAW器件工艺AlNZnOZnSSiO 2(压电薄膜)的厚度和身分;AlAlCuAlScAlTi(电极膜)


■ 技术参数

大样天职析最大 400 毫米(直径),最大 50 毫米(厚度),高达 30 千克(质量)

样品适配器系统,适用于种种样本量

丈量点30 毫米至 0.5 毫米直径,5步自动选择

映射能力,允许多点丈量

样品视图相机(可选

剖析规模Be - U

元素规模:ppm  %

厚度规模:sub ?  mm

衍射滋扰抑制(可选单晶衬底的准确结果

切合行业标准SEMICE标记

占地面积小,以前型号的 50% 占地面积


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